明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

TB系列明场纳米图形晶圆缺陷检测设备为全自动宽波段图形晶圆检测系统，可为8寸/12寸晶圆提供高效、高灵敏度的缺陷检测，可广泛应用在前道工艺层中，满足不同工艺节点缺陷检测需求。